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中国科学院长春光机所在超大口径非球面反射镜CGH检测精度校验技术上取得突破(图)
检测 光学系统 元件
2024/8/12
2024年6月17日,光学系统先进制造重点实验室(中国科学院)张学军院士研究团队,提出了一种基于等效曲面的CGH检测精度校验方法,采用小口径高精度轮廓仪实现了超大口径非球面反射镜CGH补偿元件标定,精度优于λ /150(λ=632.8 nm)。