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PVD法及与电镀复合制备光纤腐蚀传感器的Fe-C合金敏感膜
PVD 光纤腐蚀传感器(FOCS) 电镀
2009/6/12
用PVD法制备光纤腐蚀传感器(FOCS)的Fe-C合金敏感膜，在光纤纤芯上得到厚度大约1 μm的Fe-C合金膜，而且光信号对敏感膜的腐蚀信息有响应.为了增加敏感膜的厚度，根据平面波导与圆柱波导的相似性，采用PVD与电镀复合的方法在平板石英玻璃上制备Fe-C合金膜，研究该膜层的形貌、结构和在不同NaCl溶液中的耐蚀性.结果表明：复合制备的Fe-C合金膜的结构和耐蚀性与普通碳钢近似，并初步监测了光信号...