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本文提出一种静电驱动直接接触式宽带MEMS开关，包含CPW传输线、双U型金属悬臂梁、触点和锚区，兼顾了开关接触可靠、克服微结构粘连和低驱动电压三大结构可靠性设计因素。本开关为三端口开关，使用低温表面微机械工艺，制作在400μm厚的高阻硅衬底上，芯片尺寸0.8mm×0.9mm。样品在片测试结果表明，在6GHz频点，开关本征损耗0.1dB，隔离度24.8dB，等效开关接触电阻0.6Ω，关态电容6.4f...
