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仪器仪表技术其他学科 SIMS
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砷化镓中铜的
SIMS
定量分析
SIMS定量分析
铜
砷化镓
2008/5/5
砷化镓中铜的
SIMS
定量分析是有效控制砷化镓中杂质铜的浓度的重要手段,本文介绍用相对灵敏度因子定量分析砷化镓中铜的方法。
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