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PT种子层对微力传感器性能的影响
PZT薄膜 PT/PZT/PT薄膜 微悬臂梁 微力传感器 压电系数
2014/5/15
为了提高微牛顿量级微力传感器的灵敏度，比较了有PT种子层和无PT种子层的PZT压电薄膜对微力传感器性能的 影响。运用Sol-Gel（溶胶-凝胶）法制作了PZT和PT/PZT/PT薄膜，采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄 膜的成相特征，用半导体参数测试仪测试了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的漏电流。结果表明，在同为600℃退火温度下，两 种薄膜均具有钙钛矿结构，而且PT/P...
将聚吡咯(PPy)和辣根过氧化物酶(HRP)以电聚合的方式沉积在微Pt电极(φ=10μm)上，再以电化学沉积法将纳米Pt颗粒沉积在电极表面，由此制备出纳米Pt/HRP-PPy共固定微电极传感器(Pt/HRP-PPy-nano Pt CME)，研究了其电化学行为。在除O2的磷酸盐缓冲液(PBS)中，该电极加速了H2O2还原反应，而沉积在PPy上的纳米Pt显著催化了该反应。以计时电流法定量分析H2O2...