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2018年7月3日-4日，“MEMS/NEMS与微纳传感器”科学与技术前沿论坛在中科院上海微系统所嘉定园区召开。本次论坛由王曦院士担任执行主席，中国科学院杨卫院士、王建宇院士、褚君浩院士，中国工程院方家熊院士，加拿大工程院孙钰院士以及来自高校、科研机构和相关单位的专家学者共90余人参加了本次论坛。
Integrated MEMS/NEMS Resonant Cantilevers for Ultrasensitive Biological Detection
Integrated MEMS/NEMS Resonant Cantilevers Ultrasensitive Biological Detection
2009/9/4
The paper reviews the recent researches implemented in Chinese Academy of Sciences, with achievements on integrated resonant microcantilever sensors. In the resonant cantilevers, the self-sensing elem...