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Q-MEMS陀螺零偏补偿技术研究
石英音叉陀螺 零偏 温度补偿
2011/4/18
在对某型Q-MEMS(石英音叉陀螺)进行大量高低温环境试验的基础上，根据试验数据，建立了一种基于陀螺工作时间的零偏温度补偿模型，并用该模型对新测的试验数据进行了预测补偿。补偿结果表明：Q-MEMS陀螺经该模型补偿后可以将零偏减小至少一个数量级，并进一步提高了零偏稳定性，有效补偿了陀螺上电后的启动漂移，完全满足工程上的实时补偿要求。因此，该模型具有很强的工程实用价值。
We present a method for open-loop control of a continuous face sheet MEMS deformable mirror of a type that is being developed by a number of MEMS manufacturers. In this type of DM, the continuous face...