搜索结果: 1-15 共查到“光学仪器及技术 MEMS”相关记录18条 . 查询时间(0.06 秒)
中国科学院微电子研究所专利：制热型MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法
MEMS技术用于制造等离激元近红外光谱仪（图）
MEMS技术 近红外光谱仪 光谱学
2022/3/9
近红外光谱提供了物质独有的吸收光谱，因此可以区分气体种类。因此，需要小型化光谱仪来实现用于监测居住环境中的空气质量的紧凑型气体传感器。然而，常规的近红外光谱仪具有光栅以将入射光分散成不同的波长，因此光谱学需要较长的光程长度，难以将这些设备小型化。
折叠双S型Bimorph热式MEMS微镜
电热驱动 MEMS微镜 SOI微加工 折叠双S型双层梁结构 垂直线性大位移
2016/11/30
为了设计具有大角度、大位移、低电压的MEMS微镜。采用折叠双S型双层梁驱动结构设计了一种能够克服静电驱动缺陷的新型MEMS微镜，利用表硅与SOI相结合的MEMS微加工工艺来实现双材料电热的差分驱动。不但解决了因环境温度所引起的不稳定性问题，而且还实现了创记录的大角度、大位移扫描。通过该方法设计的微镜尺寸小于2.5 mm×2.5 mm，机械转角大于5度，垂直线性位移可达425 μm，系统响应时间小于...
基于MEMS的红外动态图像生成技术
红外动态图像生成 微机电系统 可见光/红外图像转换膜 仿真
2016/7/28
提出了一种基于MEMS技术的红外动态图像生成技术。利用热传导方程,建立了可见光/红外图像转换膜的理论模型;介绍了可见光/红外图像转换膜制作的工艺流程,制作了一张像元数为512×512、像元尺寸为35μm的可见光/红外图像转换膜。并利用转换膜构造了红外动态图像生成装置,通过实验对红外动态图像生成装置的性能进行了研究。利用MEMS技术制作的可见光/红外图像转换膜可以工作在红外3~5μm和8~12μm两...
MEMS矢量水听器封装的流体-结构相互作用
微机电系统(MEMS) MEMS矢量水听器 流固耦合 透声帽 谐振频率 频带
2015/12/24
针对水听器的频响曲线会在透声帽谐振频率处出现共振峰,使水听器频响曲线失真,工作频带变窄等问题。本文考虑水听器的工作环境,通过研究流体-结构相互作用对透声帽谐振频率进行了分析。首先理论分析流体对结构模态频率的影响, 分析显示在流体作用下透声帽谐振频率会降低。然后利用LMS Virtual.lab Acoustics有限元软件对空气中和液体中的MEMS矢量水听器芯片和透声帽进行了模态分析;并利用振动平...
基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试系统
MEMS加速度计 Labview 物联网 自动化测试
2016/8/23
提出了一种7 通道并行测试的MEMS 加速度计自动化测试分析系统，该系统高度集成多种功能，实现了加速度计高效率测试与分析。在常规测试系统基础上，该系统通过上层应用程序Labview 实现了单一人机交互终端对振动台、高低温交变湿热试验箱和供电电源等设备的控制。灵敏度、线性度、重复性、滞回特性、温度特性、频响特性等参数指标，能够在控制终端通过分析测试数据同时获得，并以报表形式输出。在一般情况下，传感器...
The Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) publishes papers on the science, development, and practice of lithographic, fabrication, packaging, and integration technologies necessary t...
芯片级原子器件MEMS碱金属蒸气腔室制作
微光机电系统(MEMS) 阳极键合 原子蒸气腔室 碱金属封装 芯片级原子器件
2014/3/11
提出了基于两步低温阳极键合工艺的碱金属蒸气腔室制作方法，用于实现原子钟、原子磁力计及原子陀螺仪等器件的芯片级集成。由微机电系统（MEMS）体硅工艺制备了腔室结构。首先采用标准工艺将刻蚀有腔室的硅圆片与Pyrex玻璃阳极键合成预成型腔室，然后引入氮缓冲气体和由惰性石蜡包覆的微量碱金属铷或铯。通过两步阳极键合来密封腔室，键合温度低于石蜡燃点198 ℃。第一步键合预封装腔室，键合电压小于缓冲气体的击穿电...
SPIE appoints Chris Mack editor of 'Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS'
SPIE Micro/Nanolithography MEMS MOEMS
2011/4/22
SPIE has announced the appointment of renowned lithography expert Chris A. Mack, adjunct faculty member at the University of Texas at Austin, as editor of the Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, a...
Characterization of a MEMS Based Optical System for Free-Space Board-to-Board Optical Interconnects
Free-space optical communication Alignment
2015/6/9
We demonstrate alignment of an array of VCSELs to detectors, using a MEMS-based lens system for free-space board-to-board optical interconnects. Our optical system is capable of aligning up to 5 degre...
面向三维实体建模的MEMS设计方法
MEMS 三维实体建模 设计方法
2014/4/30
本文根据“所见即所得”的设计理念，提出了一种面向三维实体建模的MEMS设计方法，实现了从三维实体到系统级模型或工艺版图的设计流程，使设计者可以首先直接建立器件的三维实体模型，在完成有限元分析后，可以通过组件映射和宏模型提取的方式获得系统级模型，再通过自动版图转换得到相应的工艺版图。此设计方法可以提高设计效率，并且保证了模型数据在各个设计层级之间传递时的一致性和精确性。
本文以MEMS红外气敏传感器为应用目标，采用MEMS技术设计和制作一种基于二维金属亚波长孔阵列结构的红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/ 电介质/金属（M/ D/M）二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外（2~14微米）波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构，其中金属膜Au的厚度为20纳米，控制在趋肤深度以内，SU-8膜的厚度从0.2微米到1.2微米。采用傅里叶变...
Q-MEMS陀螺零偏补偿技术研究
石英音叉陀螺 零偏 温度补偿
2011/4/18
在对某型Q-MEMS(石英音叉陀螺)进行大量高低温环境试验的基础上，根据试验数据，建立了一种基于陀螺工作时间的零偏温度补偿模型，并用该模型对新测的试验数据进行了预测补偿。补偿结果表明：Q-MEMS陀螺经该模型补偿后可以将零偏减小至少一个数量级，并进一步提高了零偏稳定性，有效补偿了陀螺上电后的启动漂移，完全满足工程上的实时补偿要求。因此，该模型具有很强的工程实用价值。
带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析
微机电系统 压膜阻尼 带凸条平板 解析解
2014/5/5
针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应，利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件，给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法。在带有凸条平板的MEMS微开关设计与制作的基础上，利用引入该压膜阻尼系数的Simulink模型仿真分析了微开关的动态响应特性，得到的阈值加速度与其落锤测试结果是一致的，从而很好地验证了所提出的带有凸条平板压膜阻尼效应理论分析的正确性。
实时原位双光子MEMS三维加工新技术
实时原位双光子 MEMS 三维
2008/12/31
完成了一套实时原位的三维双光子的加工系统，探索出一套实时原位的三维双光子的加工实验材料的加工工艺。实现了二到三种功能器件的加工和开发及其三维图形的制备。正在申请二个发明专利，发表文章6篇，仪器已用于开放和合作研究。实现了实时的加工监测技术，实现了导电功能材料的双光子加工。发现了新的功能材料和新的加工机理，并用于三维的高密度数据存储。开发了新的加工软件。研制了飞秒的激光、开发了共焦激光显微镜、以及扫...