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基于LabVIEW的压电陶瓷相移器控制系统
光学测量 相移测量 压电陶瓷 位移
2014/2/28
压电陶瓷（PZT）作为微位移的执行装置，在光学测量方面得到广泛的应用。为了准确方便地实现对压电陶瓷相移器的控制，本文运用虚拟仪器软件设计压电陶瓷相移器驱动、校正与位移精度控制系统。运用LabVIEW编写的程序采集数据并进行分析和计算PZT的位移量，并提出一种新的方法测出PZT驱动电压与位移曲线；系统也可以通过LabVIEW控制数据采集卡输出电压驱动PZT移动的位移达到纳米（nm）量级，提高了PZT...