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Inner surface coating of TiN by grid-enhanced plasma source ion implantation (GEPSII) technique
2007/7/28
期刊信息
篇名
Inner surface coating of TiN by grid-enhanced plasma source ion implantation (GEPSII) technique
语种
英文
撰写或编译
撰写
作者
刘斌,张谷令,刘赤子,杨思泽等
第一作者单位
中国科学院物理研究所
刊物名称
J. Vac. Sci. Tech
页面
2001.19.2958
出版日期
...
内表面栅极等离子体源离子注入TiN 薄膜及其特性研
2007/7/28
期刊信息
篇名
内表面栅极等离子体源离子注入TiN 薄膜及其特性研
语种
中文
撰写或编译
撰写
作者
张谷令,王久丽,刘赤子,杨思泽等
第一作者单位
中国科学院物理研究所
刊物名称
《物理学报》
页面
2003.52.2213
出版日期
2003年
月
日
文章标识(ISSN)
相关项目
等离子体离子注入材料内表面改性和制膜