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In2O3:Sn(ITO)薄膜的光学特性研究
薄膜 红外反射率 ITO 光学特性
2008/11/13
对掺三氧化铟(Sn-doped In2O3简称ITO)薄膜光学特性进行了研究. 结果表明, 该薄膜在可见光区具有高的透射率;低电阻率的ITO薄膜在红外区的反射率随薄膜广场电阻的减小而增大, 表现在金属性质, ITO薄膜的电磁本构特性参数光学折射率n和消光系数K在450-800nm区间的色散很弱, 基于对薄膜光学吸收及收系线性拟事表明, 薄膜在K=0处价速写对导带的跃迁是禁戒跃迁.