搜索结果: 1-1 共查到“流体-固体耦合振动 MEMS”相关记录1条 . 查询时间(0.093 秒)
热弹性阻尼作为一种基本的能量耗散机理，对高质量因数的MEMS谐振器件有着重要的影响。因为纯扭转振动不产生热弹性能量耗散，所以过去很少有文献涉及到扭转器件中热弹性阻尼。但是，静电驱动的扭转谐振器件中通常存在弯扭耦合现象，其中弯曲振动的部分不可避免的产生热弹性阻尼。针对具有弯扭耦合的MEMS扭转谐振器件，给出一种热弹性阻尼解析模型。首先考虑弯扭耦合效应，利用MEMS扭转谐振器件的静态平衡方程和动力学方...
